（马锦玉 18151073719）

半导体行业超纯水系统介绍：

概述：半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需要大量的纯水，高纯水，超纯水清洗半成品，成品，集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高，目前电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、5MΩ.cm以区分不同水质。

半导体行业超纯水设备工艺流程：

1.、原水箱→原水泵→多介质过滤→软化过滤器→精密过滤器→一级增压泵→一级反渗透→中间水箱→二级增压泵→二级反渗透→纯化水箱→EDI输送泵→EDI设备→超纯水箱→输送泵→使用点 (≥15MΩ.CM)

2.原水箱→原水泵→多介质过滤→软化过滤→精密过滤器→一级增压泵→一级反渗透→PH调节→中间水箱→二级增压泵→二级反渗透→纯化水箱→EDI输送泵→EDI设备→超纯水箱→供水水泵→紫外线杀菌→抛光树脂→0.22μm过滤→使用点 (≥18MΩ.CM)

应用领域：

1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水

2. 超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水

3. 汽车、家电表面抛光处理

4. 光电子产品

5. 光学镜片，镜头清洗超纯水设备

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