M3手持式四探针测试仪主机 配ST2253-F01钨针探头测试硅片 配ST2558B-F01薄膜探头测试ITO膜
二、概述
2.1基本功能和依据标准:
M3手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试材料电阻率/方块电阻的多用途、高性价比测量仪器。
该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》等国标并参考美国 A.S.T.M 标准。
2.2配套组成:标准配置由M-3型主机、选配的四探针探头等二部分组成,也可加配测试台当台式机使用。
2.3优势特征:
1美观适用:彩色流线型手持式面板、带防滑垫,符合人体工程学设计。适合手持式变动场合操作使用,也可以定制小型旅行手提箱包装,便于野外或旅行使用。
2高精度:带完善厚度、形状修正功能,测试精准。同行中手持式多为简易程序,没有完整修正功能,无法修正误差。
3宽量程:超宽五个档位,相当于中档台式机的量程,同行中手持式多为两到三个档位,测试范围有限,适应性不广。
4操作简便、性能稳定:轻触数字化键盘实现参数设定、功能转换,简便而且免除模拟定位器的不稳定易受干扰。
5手动/自动一体化:
6显示方式美观清晰:由高亮绿色数码和LED数字表头显示,不怕环境背景暗或野外强光;
7待机和工作时间长(不小于两天),有大容量可充电锂电池电池供电,环保耐用。
2.4探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。详情见《四探针探头型号规格特征选型参照表》
1配高耐磨的碳化钨探针探头,如ST2253-F01型,以测试硅等半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;
2配不伤膜的球形或平头镀金铜合金探针探头,如ST2558B-F01型,可测金属箔、碳纸等导电薄膜,也可测陶瓷、玻璃或PE膜等基底上导电涂层膜,如金属镀膜、喷涂膜、ITO膜、电容卷积膜等材料的薄膜涂层电阻率/方阻。
3配专用箔上涂层探头,如ST2558B-F02型,也可测试锂电池电池极片等箔上涂层电阻率/方阻。
4换上四端子测试夹具,还可对电阻器的体电阻进行测量。
2.5测试台选配:根据不同材料特性需要,测试台可有多款选配。详情见《四探针测试台型号规格特征选型参照表》
四探针法测试固体或薄膜材料选配SZT-A型或SZT-B型(电动)或SZT-C型(快速恒压)测试台。
二探针法测试细长棒类材料选配SZT-K型测试台.
平行四刀法测试橡塑材料选配SZT-G型测试台。
2.6适用范围:手持式使用,仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校四探针法对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。
。
三、基本技术参数
1.测量范围、分辨率
电 阻: 0.010Ω~ 50.00kΩ, 分辨率0.001Ω~ 10 Ω
电 阻 率: 0.010Ω-cm~ 20.00kΩ-cm, 分辨率0.001Ω~ 10 Ω-cm
方块电阻: 0.050Ω/□ ~ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω~ 10 Ω/□
2.可测材料尺寸
手持方式不限材料尺寸,但加配测试台则由选配测试台决定如下:
直 径:SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm。
SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。
长(高)度:测试台直接测试方式 H≤100mm。.
测量方位: 轴向、径向均可.
3.量程划分及误差等级(括号内为拓展量程)
量程(Ω-cm/□) |
2.000 (200.0m) |
20.00 (2.000m) |
200.0 (20.00) |
2.000k (200.0) |
20.00k (2.000k) |
电阻测试范围 |
0.010~2.200 |
2.000~22.00 |
20.00~220.0 |
0.200~2.200k |
2.000~50.00k |
电阻率/方阻 |
0.010/0.050~2.200 |
2.000~22.00 |
20.00~220.0 |
0.200~2.200k |
2.000~20.00k/100.0k |
基本误差 |
±1%FSB±2LSB |
±2%FSB±2LSB |
4)充电器工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,或电池供电DC3.7V.
5)外形尺寸:W×H×L=10cm×3.6cm×21cm
净 重:≤0.3kg
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查看《M-3手持式四探针测试仪技术使用说明书》
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